痕量級多組分氣體分析儀由微量溴甲烷、硫酰氟紅外光聲光譜氣體分析儀、微量溴甲烷、硫酰氟激光光聲光譜氣體分析儀、微量CO2激光光聲光譜氣體分析儀、常量溴甲烷、硫酰氟、非色散紅外CO2分析儀、溴甲烷/硫酰氟/磷化氫報警器、聲光報警器、數據處理分析計算機平臺、分析與檢定軟件、控制機柜等構成。

痕量級多組分氣體分析儀

概述

痕量級雜質氣體比如烴類、H₂O、CO、CO₂、NOx、N₂、H2S等會對高純氦、高純氫、高純氮、其他高純氣體的生產帶來危害，長期存在會損壞生產設備和影響生產質量，甚至對使用高純氣體的裝備帶來致命威脅。杜克泰克公司的DKF10型痕量級多組分氣體分析儀專門專業監測并分析ppm微量級、ppb超微量級雜質氣體。

痕量級多組分氣體分析儀

原理

DKF10多氣體分析儀基于紅外光聲光譜技術，擁有脈沖紅外光源，通過窄帶光學濾波片，形成中紅外區10個光譜波段，用于氣體分析；超高靈敏度基于擁有增強懸臂梁光學麥克風技術，可通過10種光學窄帶濾波片實現，極窄的光學濾波可去除背景氣體的干擾；多個光譜區域可有利于小的交叉靈敏度。對采樣響應結果按照改進的經典小二乘法進行數據校準。

光聲光譜技術可實現短光路光程的高靈敏度測量，更進一步提高了非線性補償技術，可實現寬量程可達5級的線性動態量程比。

氣體：

烴類：CH₄、C₂H₆、C₂H₂、C₂H₄等

無機氣體：CO₂、CO、N₂O、SO₂、NO、NO_2、NH₃、NF₃、SF₆、H₂O等

揮發性有機物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、甲苯、二甲苯、甲醛等

氟利昂（CFCs）及全氟化碳（PFCs）:CF₄、C₂F₆、R-134a、R13等

腐蝕性氣體：HF、HCL、HCN等

其他氣體：N₂、H₂、O₂、氯氣等（可選、擴展探頭）；

被測氣體可定制；