光聲光譜氣體分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度以無時延的探測微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

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