潔凈室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

煤自燃束管監測基于紅外光聲光譜技術，具有測量精度?、檢測限低、實時性好、原位在線、?效測量等優點， 可作為煤自燃大樣實驗臺和小樣實驗臺監測系統，也可為煤火災害消防及火災科學等多個方向的科學研究提供實驗條件和煤礦?產提?效率。

AMC監測快速監測、報警、極低濃度測量、寬測量區域、多氣體的高靈敏響應等是半導體工業要求之一。

電池熱失控監測是指通過各種傳感技術和數據分析手段，實時監控電池的狀態，以便在電池發生熱失控之前及時發現并采取相應的措施。

智能離子遷移譜（SIMS）一大優勢是可以使用環境大氣作為緩沖氣，這一優勢就把使用成本減低為零。